在武汉蔡甸区中德国际产业园，一场关乎中国芯片产业链安全的“打磨”正在一间无尘车间内悄然进行。记者近日从诺峰晶研半导体有限公司获悉，一台被称为芯片“磨刀石”的关键设备——化学机械抛光机，已进入最后调试阶段，预计本月底正式量产。这标志着武汉在芯片前道核心装备领域实现重要突破，为华中地区冲刺中国集成电路产业“第四极”补上了关键一环。
突破海外壁垒：5纳米制程设备实现国产可控
走进诺峰晶研的无尘车间，一台两层楼高的CMP设备（化学机械抛光机）颇为醒目。该设备是芯片制造流程中将晶圆表面打磨至纳米级平整度的核心装备，直接决定了芯片的最终性能与良品率。
“长期以来，国内CMP设备多适配28纳米制程，高端市场被海外垄断，是供应链上的一颗‘雷’。”诺峰晶研总裁李洪福向记者介绍，企业通过自主创新，摒弃了行业主流设计路线，其第二代CMP设备已实现100%国产可控，核心零部件完全自主研发，可适配5纳米、7纳米的高端制程，直接对标美日主力机型，跻身国内技术第一梯队。
该设备采用了创新的“六盘四层”结构，产能较传统机型提升2.5倍；同时，通过采用碳化硅研磨盘替代传统铝合金材质，大幅提升了散热性能与运行稳定性，并有效降低了运维成本。
“50天蔡甸速度”：从签约到调试的营商环境之变
“从洽谈、选址，到买下厂房、建成1万平方米百级无尘车间，再到设备进场调试，全程仅用50天。”李洪福对“蔡甸速度”感慨不已。这家从深圳远道而来的企业，其团队对效率并不陌生，但蔡甸的服务依然让他们感到惊喜。
据悉，项目最初意向并非蔡甸，但当地招商团队凭借专业的半导体产业知识，在短时间内吃透项目需求，最终打动了企业。“招商团队三五天就吃透了项目需求，这种专业性和服务效率是关键。”李洪福表示。
链上协同：“蔡甸制造+光谷应用”打通内循环
项目落地只是起点，形成产业协同才是关键。目前，诺峰已与武汉一家存储芯片大厂建立了“24小时响应机制”，每半个月进行双方工程师现场技术交流。这种“蔡甸制造+光谷应用”的跨区域协同模式，打通了研发、制造到市场的全环节，使设备研发方向更精准、迭代速度更快。
按照规划，诺峰今年计划生产50台CMP设备，将直供武汉本地先进产线。这标志着武汉半导体产业链完成了一次关键的内循环“闭合”。此外，随着产能释放，一台CMP设备所需的8万余个零部件，将带动高纯碳化硅材料、精密加工等上下游“专精特新”企业在蔡甸集聚，形成抱团发展的产业集群。
补齐短板：蔡甸崛起为华中“芯”势力支点
纵观全国集成电路产业版图，环渤海、长三角、珠三角为传统三大高地。以武汉为核心的华中地区，正凭借在存储芯片、光电子芯片等领域的优势，全力冲刺“第四极”。
“武汉头部存储芯片大厂制造能力全国领先，但前道核心装备依赖进口是痛点。”行业分析人士指出。诺峰高端半导体装备项目的落地，精准补齐了这一短板，破解了高端装备“卡脖子”困境。
对于蔡甸区而言，其角色也正从传统产业承接区，向产业链上游的核心装备制造区跃迁。一个以半导体装备制造为支点的新的经济增长极，正在中德国际产业园内加速成形。
“这台蔡甸产的‘磨刀石’，磨掉的是‘卡脖子’的枷锁，磨出的是武汉冲刺集成电路产业‘第四极’的锋芒。”李洪福说。随着诺峰半导体研究院的落地，以及未来从CMP向ALD薄膜设备、刻蚀、光刻等全品类前道装备的拓展，一个高端半导体装备产业创新高地，正在武汉之西加速崛起。（工人日报客户端记者 张翀 通讯员 李江萍）
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